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真空速凝爐的應(yīng)急措施
發(fā)布時(shí)間:2022-06-17   瀏覽:6052次

  真空速凝爐的應(yīng)急措施

  真空速凝爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹壓縮空氣的停止、停電、加熱電源掉電的應(yīng)急措施。

真空速凝爐

  一、壓縮空氣的停止

  1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí),真空速凝爐處于停止?fàn)顟B(tài),應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房,讓其恢復(fù)工作。

  2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警,且恢復(fù)需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則終止真空,讓設(shè)備停下來(lái)。

  二、停電

  1、停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。

  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)真空速凝爐,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間,則將設(shè)備保持原狀。

  3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。

  三、加熱電源掉電

  1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,真空速凝爐的壓力表會(huì)報(bào)警。

  2、接地故障。

  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。

  4、若真空速凝爐爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

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11 March 2019
真空熔煉爐的維護(hù)和保養(yǎng)方法是哪些呢

真空熔煉爐的維護(hù)和保養(yǎng)方法是哪些呢

       真空熔煉爐是在抽真空爐體中用電弧直接加熱熔煉金屬的電爐。爐內(nèi)氣體稀薄,主要靠被熔金屬的蒸氣發(fā)生電弧,為使電弧穩(wěn)定,一般供直流電。按照熔煉特點(diǎn),分為金屬重熔爐和澆鑄爐。按照熔煉過(guò)程中電極是否消耗(熔化),分為自耗爐和非自耗爐,工業(yè)上應(yīng)用的大多數(shù)是自耗爐。真空電弧爐用于熔煉特殊鋼、活潑的和難熔的金屬如鈦、鉬、鈮。           電弧電熱可以認(rèn)為是弧阻電熱。電弧(弧阻)穩(wěn)定是爐子正常生產(chǎn)的必要條件。交流電弧爐通常采用工頻電,為使電弧穩(wěn)定,真空熔煉爐爐子供電電路中要有適當(dāng)?shù)母锌梗谴嬖诟锌箷?huì)降低功率因數(shù)和電效率。降低電流頻率是發(fā)展交流電弧爐的途徑?;∽枳柚迪喈?dāng)小,為獲得必要的熱量,爐子需要相當(dāng)大的工作電流,因此爐子短網(wǎng)的電阻要盡量小,以免電路損耗過(guò)大。那要如何做好維護(hù)和保養(yǎng)呢?方法有二,如下:   1、按照PLC程序抽低真空:緊閉真空熔煉爐所有的真空閥門,啟動(dòng)機(jī)械泵,待其運(yùn)行正常后(大約1-2 min),打開(kāi)通向爐體的低真空閥即上碟閥,預(yù)先對(duì)爐體抽低真空;   2、 按照PLC程序抽高真空:打開(kāi)下碟閥,對(duì)擴(kuò)散泵進(jìn)行抽氣,當(dāng)真空度達(dá)到15 Pa以下后,真空熔煉爐系統(tǒng)自動(dòng)開(kāi)啟擴(kuò)散泵進(jìn)行預(yù)熱,一般經(jīng)過(guò)45 min左右擴(kuò)散泵開(kāi)始其作用,就可以關(guān)閉上碟閥,同時(shí)開(kāi)啟主阻擋閥待真空度達(dá)到1.33×10Pa以上,才可以開(kāi)啟加熱按鈕對(duì)樣品進(jìn)行加熱。   真空甩帶爐保養(yǎng)可指導(dǎo)設(shè)備操作員在職責(zé)范圍內(nèi)對(duì)設(shè)備各點(diǎn)檢部位,用正確的檢驗(yàn)方法和工具依據(jù)點(diǎn)檢周期進(jìn)行設(shè)備的日常保養(yǎng);操作員需每日依據(jù)此保養(yǎng)說(shuō)明書(shū)認(rèn)真填寫(xiě)《熱處理設(shè)備日常維護(hù)保養(yǎng)記錄》,并由班組長(zhǎng)檢查復(fù)核,維修員收集存檔。全套設(shè)備按技術(shù)要求安裝完畢后,無(wú)缺件并有良好的接地時(shí),即可按下列項(xiàng)目進(jìn)行調(diào)試與驗(yàn)收。